往期回顧：點擊查看→ “黑科技”來了！牧野Super Hale 加工技術(shù)
我們已經(jīng)介紹了MAKINO的Smart Tool 的Super Hale 在半導(dǎo)體設(shè)備真空腔體密封面的加工中的應(yīng)用，本期我們介紹Smart Tool 的另一項黑科技：Synchro Spinner(同步旋轉(zhuǎn)) 加工功能。
● Synchro Spinner●
Synchro Spinner(同步旋轉(zhuǎn)) 加工功能是通過用加工中心，實現(xiàn)真空度要求高的半導(dǎo)體制造裝置等的密封面同步旋轉(zhuǎn)刮削加工。Synchro Spinner 加工功能的應(yīng)用場景：
傳統(tǒng)的加工方式，由于刀具旋轉(zhuǎn)會產(chǎn)生從內(nèi)側(cè)到外側(cè)的切削痕跡。
真空密封面中氦氣沿著切削痕跡泄漏，無法維持真空。
為了保持高真空狀態(tài)，必須進(jìn)行研磨作業(yè)。
為了消除密封面內(nèi)側(cè)到外側(cè)的切削痕跡，沒有氦氣泄露。需要采用車削的方式進(jìn)行。
同步旋轉(zhuǎn)刮削的面也可以得到同樣的效果。
● 工序革新●
同步旋轉(zhuǎn)加工裝置實現(xiàn)工序革新
● 關(guān)鍵技術(shù)●
?與主軸旋轉(zhuǎn)同步，刀尖擴(kuò)展徑向方向
?不需要U軸等特殊機(jī)構(gòu)
?使用車床用ISO標(biāo)準(zhǔn)型刀片
?通過Cs軸的控制，可以調(diào)整刀片的移動量
?通過ATC實現(xiàn)自動換刀
● 加工案例●
● 適用牧野設(shè)備●
1）BT40/HSK-A63等
a51nx/ a61nx/ a500Z
2）BT50/HSK-A100等
a71nx/ a81nx/ T1
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