精密半導(dǎo)體制造過程對真空等級要求極高。如下圖所示，真空腔體和相關(guān)的腔體、閥門之間都是靠真空密封來保證的，所以對于這些密封面的密封要求也極其苛刻。
真空腔體的周邊設(shè)備
加工這些真空腔體的密封面時，若采用傳統(tǒng)的銑削方法，會在刀具旋轉(zhuǎn)方向產(chǎn)生切削痕跡缺陷。為了保持密封面的高真空狀態(tài)，不得不對加工面進(jìn)行研磨處理，存在對技能人員要求高、不能自動化生產(chǎn)、品質(zhì)不穩(wěn)定、加工成本高等問題。
加工的真空密封面存在切削痕跡缺陷
01
黑爾（Hale）加工
黑爾(Hale)是抑制振動的工具的構(gòu)造，起源是車床與肩刨床（黑爾加工=刮削加工），工具的頸部被叫黑爾(Hale)結(jié)構(gòu)。
1980年代，牧野開發(fā)了NC控制的黑爾(Hale)加工法，在橡膠（密封圈）行業(yè)被廣泛應(yīng)用。
傳統(tǒng)的黑爾加工在真空腔體密封面加工上的應(yīng)用也存在如下問題：
1）使用標(biāo)準(zhǔn)的黑爾加工模式；
2）各公司獨(dú)立設(shè)計、制作刮刀；
3）在密封面在直面加工中表現(xiàn)良好，轉(zhuǎn)角處會留有橫向和豎向條紋；
4）必須有熟練技能人員進(jìn)行細(xì)微的研磨。
02
Super Hale 的研發(fā)和應(yīng)用
為了實(shí)現(xiàn)不需要人工干預(yù)和研磨的真空腔體密封面加工，牧野開發(fā)了Super Hale的專用刀具專用的控制，為該行業(yè)提供了更加優(yōu)越的解決方案。
1）縮短加工時間
進(jìn)給速度6000mm/min加工，利用牧野特有的Super Hale控制。
Normal Hale加工：
工具材料：WC
進(jìn)給速度：1000mm/min
加工深度：0.003mm/次（0.05mm）
加工時間：13分鐘30秒
Super Hale加工：
工具材料：WC
進(jìn)給速度：6000mm/min
加工深度：0.003mm/次（0.05mm）
加工時間：2分鐘46秒加工時間減少達(dá)79%
2）提高表面品質(zhì)
用Super Hale控制抑制轉(zhuǎn)向波紋高度：
Normal Hale控制
Super Hale控制
3）無需進(jìn)行研磨作業(yè)
Super Hale在超高真空(10?1??/?)狀態(tài)下的氦氣泄露測試中，表現(xiàn)卓越，不會出現(xiàn)漏氣現(xiàn)象。
牧野Super Hale視頻
03
Super Hale 適用牧野設(shè)備
1）BT40/HSK-A63等
a51nx/ a61nx/ a500Z
2）BT50/HSK-A100等
a71nx/ a81nx/ T1
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