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首頁(yè) > 技術(shù)之窗 > 直線柵尺 | 機(jī)床加工的精準(zhǔn),還得看它!

直線柵尺 | 機(jī)床加工的精準(zhǔn),還得看它!

計(jì)量檢測(cè)方案 形狀測(cè)量

直線柵尺為廣大加工機(jī)行業(yè)所熟知,經(jīng)常被應(yīng)用于數(shù)控機(jī)床及高精度測(cè)量設(shè)備上,來(lái)檢測(cè)直線位移或是角度位移。


作為一把“尺子”,直線柵尺自身的精度固然決定了數(shù)控機(jī)床的品質(zhì)。在車(chē)床、銑床等通用機(jī)床,以及包括專有設(shè)備在內(nèi)的所有機(jī)床、專業(yè)機(jī)械、半導(dǎo)體制造裝置,精密測(cè)量?jī)x器等方面,直線柵尺已經(jīng)逐步替代了傳統(tǒng)的刻度盤(pán)定位操作,大幅提高了機(jī)器的工作效率。

三豐CMM均采用自社研發(fā)的柵尺
保證高精度測(cè)量


直線柵尺的應(yīng)用


1. 半導(dǎo)體裝置——用于切割鋸的定位

2. 曝光裝置——用于掃描臺(tái)的定位

3. 電子顯微鏡——用于掩膜的觀測(cè)/電路圖案的測(cè)長(zhǎng)等

4. 各種NC機(jī)床——用于高精度全閉環(huán)控制


5. 電子元件安裝機(jī)——用于電子元件的高速、高精度安裝

6. FPD檢查裝置——用于缺陷檢查、修復(fù)定位


柵尺的一條龍生產(chǎn)

三豐柵尺在日本宇都宮事業(yè)所的清原生產(chǎn)部一條龍生產(chǎn),這里集線性編碼器用玻璃柵尺的制造、電裝部件的組裝、產(chǎn)品的組裝、檢查于一身,并運(yùn)用這一優(yōu)勢(shì),不斷地推進(jìn)柵尺的高精度化和質(zhì)量的提升。

清原生產(chǎn)部的地下研究樓

具備高精度刻度加工、精密測(cè)量所需要的環(huán)境


利用清原穩(wěn)固的地基和地下9m穩(wěn)定的環(huán)境特性,可以最大限度抑制全年溫度、濕度的變化和外部振動(dòng)的傳播。在這棟研究樓中開(kāi)展的標(biāo)準(zhǔn)刻度的制作、相關(guān)精度評(píng)估及各種研究,是線性柵尺的精度、品質(zhì)的保障。


三豐柵尺的高信賴性

線性編碼器的精度保證,需要高度可靠的評(píng)估系統(tǒng)。

清原生產(chǎn)部的地下研究樓內(nèi)設(shè)有自主開(kāi)發(fā)的超高精度測(cè)長(zhǎng)機(jī),作為線性編碼器評(píng)估系統(tǒng),該設(shè)備不僅擁有地下穩(wěn)定的周?chē)h(huán)境,而且實(shí)現(xiàn)了激光干涉測(cè)長(zhǎng)光路的真空化,最大限度排除了不確定性因素。

高可靠度的評(píng)估系統(tǒng)


該設(shè)備的誤差達(dá)到世界級(jí)水平,這在國(guó)際間的相互比較中也得到了確認(rèn)。憑借高超的技術(shù)水平,曾榮獲2004年度精密工學(xué)會(huì)論文獎(jiǎng)、2005年度發(fā)那科FA機(jī)器人財(cái)團(tuán)FA論文獎(jiǎng)。


可追溯性

三豐直線柵尺可溯源到日本國(guó)家基準(zhǔn)。

柵尺的溯源體系圖
(點(diǎn)擊查看大圖)


柵尺的分類

線性編碼器根據(jù)控制方式的不同,外觀結(jié)構(gòu)的不同,原點(diǎn)確立方式,檢出原理等可分為多種類型。


分類如此“復(fù)雜”,怎樣才能選擇出最適合的那款柵尺呢?歡迎咨詢我們,給你提供適合的解決方案。


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